研究 (Research)
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ナノスケール加工・計測と知的統合に関する学術の探究
教授 高谷 裕浩（工学研究科 機械工学専攻） TAKAYA Yasuhiro (Graduate School of Engineering)
研究内容
・直径8ミクロンの光放射圧マイクロプロープを実装したマイクロ部品の3次元座標測定機（ナノCMM）を開発。
・研究テーマカテゴリーは次の4本柱、
{1}「レーザ応用ナノ計測技術」：ナノスケールものづくり基盤計測技術の確立
{2}「レーザ応用超微細加工技術」：ナノ加工技術の確立とナノ計測ツールの開発
{3}「ナノ計測システムの製造、組立技術」：ナノ生産技術における技術革新
{4}「量子光学に基づいた次世代精密計測法」：フォトン・メトロロジ一基盤技術の確立。
・予測型生産システムにおけるAIを利用するスマート精密加工計測の新たな研究戦術を展開！
担当研究者
教授 高谷 裕浩（工学研究科 機械工学専攻）
キーワード
メトロロジー／スマート精密加工計測／ナノ光計測／ 光放射圧／光量子効果
重点分野
ＡＩ・データ／計測分析技術／光・量子
応用分野
生産科学分野／機上・インプロセス計測関連／光学素子加工計測／超精密表面トポグラフィ測定機
論文・解説等
[1] Yasuhiro Takaya, Int. J. of Automation Technology, Vol.8 No.1, 2014.
[2] Takaya, Y. et al., CIRP Annals, Vol.65, Issue 1, 2016.
[3] Uenohara, T., Takaya, Y., Mizutani, Y., CIRP Annals, Vol.66, Issue 1, 2017.