研究 (Research)
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弱い相互作用が切り拓くマルチスケール精密加工・計測の世界 (The World of Multiscale Precision Processing and Measurement Explored Through Weak Interactions)
准教授 水谷 康弘（工学研究科 機械工学専攻） MIZUTANI Yasuhiro (Graduate School of Engineering)
研究内容
測定シグナルのノイズの中にはたくさんの情報が隠れています。それらの情報は、量子・統計光学や機械学習を組み合わせると顕在化させることができます。また、簡単な技術なので産業への適用範囲も広く、例えば、相関計測にもとづいて画像計測を行うと微小異物散乱計測ができますし、弱値増大効果を利用すればサブナノメートル精度の表面粗さを測定できます。また、近接回折効果を利用すれば広範囲な3次元リソグラフィが可能になります。私たちの研究グループでは、新たな概念のマルチスケール計測・加工技術を生産加工分野に展開しています。
担当研究者
准教授 水谷 康弘（工学研究科 機械工学専攻）
キーワード
精密計測／量子光学／画像計測／3D リソグラフィ／ 機械学習
重点分野
ＡＩ・データ／情報・通信／計測分析技術／バイオ／光・量子
応用分野
生産加工分野／半導体関連分野／医療分野
論文・解説等
[1] Y. Mizutani et al., Nanomanuf. Metrol., 4 (2021) 37.
[2] R. Ezaki et al., Opt. Express, 28 (2020) 36924.
[3] Y. Mizutani et al., ISOT (2021) 367567.