研究 (Research)
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プラズマ科学および半導体プロセス
教授 浜口 智志（工学研究科 マテリアル生産科学専攻） HAMAGUCHI Satoshi (Graduate School of Engineering)
研究内容
本研究室では、プラズマ（気体放電）の基礎科学とその応用を研究対象とし、実験および理論の両面から、プラズマ及びプラズマ固体・液体相互作用の本質的理解に努めている。最先端半導体の製造工程における基幹技術とされる超微細加工（高アスペクト比エッチング、原子層堆積 [ALD], 原子層エッチング[ALE]等）や人工骨等医療機器の表面改質にプラズマ制御が本質的な役割を担うことから、これらを対象とした応用研究も、国内外の企業と連携して進めている。
担当研究者
教授 浜口 智志（工学研究科 マテリアル生産科学専攻）
キーワード
プラズマ／半導体製造プロセス／表面加工／数値シミュレーション／機械学習
重点分野
ＡＩ・データ／エネルギー／革新的マテリアル／医工連携／ヘルスケア
応用分野
半導体／医療材料・機器／表面加工／プラズマプロセス
論文・解説等
[1] 該当多数による省略