研究 (Research)
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次世代グリーンデバイスを拓く半導体実用表面のサイエンス (Science of Processed Semiconductor Surfaces for Next-Generation Green Devices)
教授 有馬 健太（工学研究科 物理学系専攻） ARIMA Kenta (Graduate School of Engineering)
研究内容
次世代半導体表面と液相（もしくは気相）との相互作用を極限レベルで理解し、制御することを目指す、表面科学の研究を進めています。これは、未来の電子デバイスの製造時に不可欠な表面創成プロセス（超精密加工、洗浄、成膜、メッキなど）の飛躍的な高度化を促します。また、新奇のエッチング現象を活用した、Ⅳ族元素から成る高性能ナノ材料の創出や、新しい計測・評価手法の開発にも取り組んでいます。これらにより、クリーンで快適なエネルギー利用社会の実現に貢献したいと考えています。
担当研究者
教授 有馬 健太（工学研究科 物理学系専攻）
キーワード
表面科学／ 固液界面反応／ 半導体プロセス／ ナノカーボン／ 触媒化学
重点分野
計測分析技術／カーボンニュートラル／革新的マテリアル
応用分野
電子・エネルギーデバイス分野／表面分析分野／生産プロセス分野
論文・解説等
[1] J. Li, K. Arima, et al., Phys. Rev. Res. 6 (2024) 013252 (9 pages).
[2] Z. Ma, K. Arima, et al., Langmuir, 38 (2022) 3748-3754.
[3] 有馬健太、応用物理、84 (2015) 1009-1012.